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        有機玻璃的反應離子刻蝕機理PMMA的反應離子刻蝕就是有機玻璃在氧等離子體中的氧化分解過程。在只考慮穩態產物和外部的放電參數時，氧化機理可以表示為如下宏觀的反應模型。在這個反應模型中，反應產物可以相互間轉化。產生氧活性粒子的氣相激活過程和提供能量的離子轟擊過程是相關的，這兩者都受濺射功率密度的影響，與濺射功率呈線性關系，因為這兩個反應中等離子體的激活過程是***重要的。由此可知，反應離子刻蝕PMMA的過程中，氧活性粒子是氧化刻蝕的主要活性粒子，同時離子碰撞PMMA表面對刻蝕反應也較關鍵。
　　功率和有機玻璃的反應離子深刻蝕氣壓對刻蝕過程很重要，提高功率使電子密度增加，氣體中的氧活性粒子濃度變大，因而PMMA更快分解；同時離子能量增大，通過離子碰撞，加速表面化學反應，反應產物濃度會提高，離子碰撞也會促進反應產物的解吸。氣壓升高會提高氧氣濃度，另一方面會使電子密度降低，氧活性粒子濃度則取決于這兩個因素的疊加結果。隨氣壓升高，離子能量降低，使吸附氣體表面密度更高，同時對化學反應的促進作用減弱?？涛g工藝參數的影響?？涛g氣壓的影響實驗中保持功率和氣體成分不變，工作氣壓p從1.33Pa變化到9.98Pa，考察了氣壓變化對刻蝕速率等的影響。